概 要
可以测量或控制各种气体的热式质量流量计/控制器。适用于各种气体供给系统、气体混合工艺、实验工厂、半导体制造工艺、研究所等使用的气体流量测量以及流量控制。
特 长
・无温度和压力校正,可直接测量标准换算(0℃、1 atm)后的流量
・适用的气体种类很多
・也可测量混合气体
概 要
可以测量或控制各种气体的热式质量流量计/控制器。适用于各种气体供给系统、气体混合工艺、实验工厂、半导体制造工艺、研究所等使用的气体流量测量以及流量控制。
特 长
・无温度和压力校正,可直接测量标准换算(0℃、1 atm)后的流量
・适用的气体种类很多
・也可测量混合气体