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MASFLO-OVAL II（FHA、FHB）

    概　要

    可以测量或控制各种气体的热式质量流量计/控制器。适用于各种气体供给系统、气体混合工艺、实验工厂、半导体制造工艺、研究所等使用的气体流量测量以及流量控制。

    特　长

    ・无温度和压力校正，可直接测量标准换算（0℃、1 atm）后的流量

    ・适用的气体种类很多

    ・也可测量混合气体


  • 产品参数

    概　要

    可以测量或控制各种气体的热式质量流量计/控制器。适用于各种气体供给系统、气体混合工艺、实验工厂、半导体制造工艺、研究所等使用的气体流量测量以及流量控制。

    特　长

    ・无温度和压力校正，可直接测量标准换算（0℃、1 atm）后的流量

    ・适用的气体种类很多

    ・也可测量混合气体


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